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量产线调试的第十天,凌晨四点的研发中心突然爆发出一阵急促的警报声。正在监控室查看良率数据的林渊猛地站起身,抓起对讲机就冲了出去:“各小组注意!中试车间发生什么情况?重复,中试车间发生什么情况?”对讲机里传来陈涛带着喘息的声音:“林总!刻蚀设备突然停机,真空腔体压力骤升,可能是腔体泄漏了!”

林渊赶到中试车间时,里面已经弥漫着淡淡的臭氧味,几名工程师正穿着防护服围着刻蚀设备紧急排查。陈涛指着设备屏幕上的参数曲线,脸色惨白:“刚才我们正在进行第50批次晶圆的刻蚀,真空度突然从10^-7pa降到10^-3pa,设备自动停机保护。初步判断是腔体的密封垫圈损坏,要是腔体被污染,之前的49批次晶圆可能都报废了。”

“先检测晶圆!”林渊果断下令,“范教授,你带团队检测刚完成刻蚀的晶圆;陈涛,立刻拆解设备检查密封垫圈;苏晴,联系沈阳机床厂,让他们马上送一批备用密封垫圈过来,强调要国产化的新型材料!”他看着墙上的时钟,指针指向凌晨4点15分,距离阿拉伯能源联邦主权基金的最终投资评审还有72小时,要是晶圆报废,投资协议就彻底泡汤了。

范德霍夫教授带领团队将晶圆送到检测室,原子力显微镜下的刻蚀图案清晰可见,线条边缘的光滑度完全符合要求。老教授松了一口气,拿着检测报告跑出来:“林总,太好了!晶圆没有被污染,刻蚀精度达到0.003微米,比设计要求还高!密封垫圈损坏的时候,刚好完成了最后一片晶圆的刻蚀,真是不幸中的万幸!”

陈涛也带着好消息过来:“密封垫圈确实损坏了,但原因找到了。是我们之前更换的国产化密封垫圈材质有问题,在高温环境下发生了老化。沈阳机床厂说他们新研发的氮化硅密封垫圈能承受1200c的高温,现在已经安排专车送过来,预计中午12点前能到。”他顿了顿,补充道,“不过我们的良率数据有点波动,第45到49批次的良率从85%降到了78%,可能是设备参数不稳定导致的。”

林渊走进检测室,看着屏幕上的良率曲线,眉头拧成了疙瘩。曲线在第45批次突然出现下滑,虽然幅度不大,但对于量产来说,每一个百分点的良率都关系到成本控制。苏晴正在分析设备日志,手指在键盘上飞快敲击:“找到了!是脉冲激光沉积设备的功率不稳定,导致量子点的沉积密度出现波动。我们之前为了提升效率,把功率调到了设计上限,长时间运行后出现了功率衰减。”

“能不能优化参数?”林渊问道。苏晴点了点头,调出参数调整界面:“我们可以采用动态功率补偿算法,根据量子点的沉积密度实时调整激光功率。我已经做过模拟计算,调整后良率能稳定在85%以上。不过需要重新编写控制程序,大概需要6个小时。”

就在团队紧张调整参数时,赵磊匆匆跑进来,手里拿着一份供应链报告:“林总,出大事了!我们采购的高纯度碳纳米管原材料被海关扣了!说是怀疑这批材料用于军事用途,需要进行安全审查,至少要一周才能放行。我们现在的库存只够生产1000片芯片,根本不够投资评审的样品需求。”

“怎么会突然被扣?”林渊心里咯噔一下,“我们的材料都是通过正规渠道采购的,手续齐全啊。”赵磊叹了口气:“我打听了一下,是米国商务部给海关发了函,说我们的碳纳米管技术可能用于导弹制导系统,要求加强审查。这明显是他们的刁难,想拖延我们的量产进度。”

苏晴突然想起了什么,眼睛一亮:“我们可以用之前自己提纯的碳纳米管!虽然纯度只有99.998%,比采购的低0.002个百分点,但我们可以通过优化量子点掺杂浓度来弥补。之前的实验数据显示,只要量子点掺杂浓度提升5%,就能抵消材料纯度不足带来的性能损失。”

林渊立刻拍板:“就这么办!苏晴,你带团队调整量子点掺杂参数;赵磊,去仓库盘点我们自己提纯的碳纳米管库存,确保足够生产2000片样品;陈涛,设备修好后立刻启动生产,务必在明天中午前完成2000片样品的生产。”他看着众人,“阿拉伯能源联邦主权基金的评审团队后天就到,我们必须在他们来之前拿出合格的样品,这是我们最后的机会!”

中午11点,沈阳机床厂的密封垫圈准时送达,陈涛的团队仅用2个小时就完成了设备更换和调试。下午1点,调整后的量产线重新启动,激光沉积设备的功率稳定在设计值,量子点的沉积密度均匀性大幅提升。监控屏上的良率曲线稳步上升,第50批次晶圆的良率达到了86%,第51批次更是达到了88%,创造了新的纪录。

然而,新的问题又出现了。负责封装的工程师发现,部分芯片在封装过程中出现了引脚脱落的现象。“是焊接温度的问题!”封装团队负责人拿着放大镜观察着脱落的引脚,“量子碳管芯片的热传导性能太好了,焊接时的热量被快速传导出去,导致焊锡没有充分熔化,出现了虚焊。我们之前用的焊接温度是250c,现在需要提高到300c,但这样又会损伤芯片的栅极绝缘层。”

苏晴立刻赶到封装车间,拿起一片出现虚焊的芯片进行检测。透射电子显微镜下,栅极绝缘层的厚度均匀,没有出现破损的迹象。她沉思片刻,提出了一个大胆的方案:“我们采用分步焊接工艺。先将焊接温度提高到300c,保持2秒,让焊锡充分熔化,然后立刻用液氮冷却,将温度降到-50c,快速固化焊锡。这样既能保证焊接质量,又能避免栅极绝缘层受损。”

工程师们都愣住了,分步焊接工艺对设备的要求极高,需要精准控制温度和时间。陈涛立刻联系设备厂商,要求他们派技术人员过来改造焊接设备。设备厂商的技术总监赶到后,摇了摇头:“这种工艺改造至少需要三天时间,你们根本赶不上进度。”

“我们自己改造!”林渊想起了之前改造磁控溅射设备的经历,“陈涛,你带团队改造焊接设备的温控系统,增加液氮冷却模块;苏晴,编写温度控制程序,精确控制加热和冷却的时间;张明,负责测试改造后的设备性能。我们分工合作,务必在今晚8点前完成改造!”

团队立刻行动起来,车间里一片忙碌的景象。陈涛带领工程师们拆卸焊接设备的外壳,安装液氮冷却管道;苏晴在电脑前编写控制程序,屏幕上的代码不断滚动;张明则准备测试样品,随时准备验证改造效果。林渊也加入了改造队伍,帮忙搬运设备部件,额头上的汗水浸湿了衬衫。

晚上7点30分,焊接设备改造完成。张明将一片晶圆放入设备,启动焊接程序。屏幕上的温度曲线先快速上升到300c,保持2秒后,瞬间下降到-50c,整个过程精准无误。焊接完成后,检测显示引脚的焊接强度比之前提升了50%,没有出现任何虚焊现象。“成功了!”车间里爆发出热烈的欢呼,每个人的脸上都洋溢着疲惫但兴奋的笑容。

经过一夜的连续生产,第二天早上8点,2000片量子碳管芯片样品全部生产完成。范德霍夫教授带领团队对样品进行了全面检测,检测报告显示:芯片的平均运算速度达到4.3Ghz,比ASmL的7nm芯片提升60%;漏电率0.0008A,是ASmL 7nm芯片的1\/12;在-50c到150c的极端环境下连续运行72小时,性能波动不超过3%,各项指标都远超设计要求。

“这是真正的技术突破!”范德霍夫教授激动地握着林渊的手,“我从事半导体研发四十多年,从未见过性能如此优异的芯片。就算是ASmL即将发布的5nm芯片,也未必能达到这个水平!”他顿了顿,补充道,“我已经把测试数据发给了我的老朋友——国际半导体技术评估机构的琼斯教授,他看完后表示难以置信,要亲自来西安验证。”

中午12点,阿拉伯能源联邦主权基金的评审团队准时到达研发中心。穆罕默德拿着检测报告,脸上露出了怀疑的神色:“林总,这些数据太完美了,完美到让人不敢相信。我们需要现场进行验证测试,确保数据的真实性。”他身后的技术专家也附和道:“我们带来了国际最先进的测试设备,要是现场测试数据与报告一致,我们立刻签订投资协议。”

林渊没有丝毫犹豫:“没问题!请各位随我到检测室,我们现场进行测试。”他心里清楚,只有用实力才能打消对方的疑虑。检测室里,阿拉伯能源联邦团队的技术专家安装好测试设备,随机抽取了10片芯片进行测试。所有人都围在监控屏前,大气都不敢喘一口。

测试开始后,屏幕上的性能数据不断跳动。当运算速度稳定在4.3Ghz时,穆罕默德的眼睛瞪得溜圆;当漏电率显示为0.0008A时,他忍不住揉了揉眼睛;当极端环境测试完成,性能波动仅为2.8%时,整个检测室里一片寂静。技术专家反复检查了测试设备,确认没有任何问题后,对着穆罕默德点了点头。

“不可思议!真是不可思议!”穆罕默德激动地站起来,紧紧抱住了林渊,“林总,你们创造了奇迹!我现在就给总部打电话,要求立刻签订投资协议!”他拿起手机,用阿拉伯语快速说着什么,脸上洋溢着兴奋的笑容。挂掉电话后,他对林渊说:“总部已经批准了投资方案,50亿投资将在三天内到账。同时,阿拉伯能源联邦阿美和迪拜拉电力的采购合同也已经准备好了,只要你们的芯片量产,就立刻签订,首批采购量为100万片!”

投资协议的签订像一剂强心针,让整个研发中心沸腾了。然而,林渊并没有放松警惕,他知道,ASmL绝不会善罢甘休。果然,当天下午,国际半导体产业协会突然发布公告,质疑深蓝科技的量子碳管技术存在专利侵权问题,称该技术侵犯了ASmL的三项核心专利,并要求深蓝科技立即停止研发和生产。

“这是ASmL的阴谋!”苏晴愤怒地将公告摔在桌上,“这三项专利都是关于FinFEt架构的,我们的量子碳管架构与FinFEt架构完全不同,根本不存在侵权问题。他们就是想通过专利诉讼拖延我们的量产进度,为他们的5nm光刻机发布会争取时间。”

范德霍夫教授仔细研究了专利文件,点了点头:“苏总说得对,这是典型的专利流氓行为。ASmL的这三项专利都已经过了保护期,而且我们的技术路线与他们完全不同,他们的诉讼根本站不住脚。不过专利诉讼至少需要6个月才能结案,要是他们在全球范围内提起诉讼,会严重影响我们的国际市场开拓。”

林渊立刻联系了国内最顶尖的知识产权律师团队,召开紧急会议。律师团队的负责人表示:“我们已经研究了ASmL的专利文件和你们的技术方案,确认不存在侵权问题。我们可以反诉ASmL滥用专利诉讼,要求他们赔偿我们的经济损失。同时,我们可以向国际知识产权组织提交技术评估报告,证明你们的技术创新性。”

就在团队准备应对专利诉讼时,琼斯教授带领国际半导体技术评估机构的专家团队来到了研发中心。经过两天的全面评估,评估机构发布了一份权威报告:“深蓝科技的量子碳管架构是一种全新的芯片架构,与现有技术路线存在本质区别,具备完全的自主知识产权,在运算速度、功耗控制和极端环境稳定性方面实现了重大突破,达到了全球领先水平。”

这份报告彻底粉碎了ASmL的专利诉讼阴谋。ASmL的股价在报告发布后暴跌10%,不得不宣布撤回专利诉讼。行业分析师纷纷发表评论:“深蓝科技的量子碳管技术将彻底改变全球半导体产业的格局,ASmL的技术垄断地位受到了严重挑战。”

危机解除后,量产工作进入了快车道。陈涛的团队完成了三条量产线的改造,每条生产线的月产能达到10万片,良率稳定在85%以上。赵磊建立的多元化供应链体系发挥了作用,国内的供应商已经能稳定供应高纯度碳纳米管、量子点材料等核心原材料,彻底摆脱了对国外供应链的依赖。

然而,在第一代原型机的最终组装阶段,又出现了新的问题。负责系统集成的工程师发现,芯片与现有操作系统的兼容性存在问题,部分工业控制软件无法正常运行。“是芯片的指令集与传统硅基芯片不同导致的。”工程师拿着测试报告说,“我们需要开发一套新的指令集兼容模块,才能解决兼容性问题。这个模块的开发需要至少两周时间,会影响原型机的交付进度。”

苏晴提出了一个创新方案:“我们不需要开发全新的兼容模块,可以采用虚拟化技术,在芯片中集成一个小型的硅基芯片模拟单元,用于运行传统指令集的软件。这样既能保证兼容性,又能充分发挥量子碳管芯片的性能优势。开发周期只需要三天,而且成本很低。”

团队立刻投入到兼容模块的开发中,苏晴带领软件工程师编写虚拟化程序,硬件工程师则负责将模拟单元集成到芯片中。经过三天三夜的连续奋战,兼容模块终于开发完成。测试显示,芯片不仅能完美运行传统工业控制软件,而且运行速度比在硅基芯片上提升了40%。

当第一台量子碳管芯片原型机组装完成时,整个研发中心都安静下来。原型机的外观简洁大方,机身印有深蓝科技的标志,屏幕上显示着实时性能数据。林渊按下了开机按钮,原型机顺利启动,工业控制软件加载速度比传统设备快了一倍,运行过程中没有出现任何卡顿现象。

范德霍夫教授拿着原型机,激动得手都在颤抖:“这不仅仅是一台原型机,更是龙国半导体产业的希望!我们用了两年时间,走完了ASmL十年的路,创造了世界半导体产业的奇迹!”陈涛、苏晴、赵磊……每个人都围过来,看着这台凝聚了他们无数心血的原型机,眼泪忍不住流了下来。

林渊拿起原型机,走到研发中心的广场上,举过头顶。阳光洒在原型机上,反射出耀眼的光芒。周围的研发人员纷纷围过来,鼓掌欢呼,声音响彻云霄。林渊看着眼前的团队,心里充满了感激和自豪。他知道,第一代原型机的完成只是一个开始,更广阔的天地还在等着他们。但此刻,他可以自豪地说,他们已经打破了国外的技术垄断,为龙国的半导体产业迎来了曙光。

当天晚上,林渊召开了全体员工大会,宣布第一代量子碳管芯片原型机正式完成。他站在台上,看着台下充满斗志的员工,声音坚定有力:“我们已经完成了第一代原型机,接下来的任务就是召开新品发布会,让全世界看到龙国的半导体技术!ASmL的5nm光刻机发布会还有一个月,我们的发布会将在十天后举行,主题就是‘打破垄断,引领未来’!”

大会结束后,林渊留在了办公室。他看着桌上的第一代原型机,想起了创业初期的艰难,想起了团队解散的危机,想起了无数个不眠之夜。他拿起手机,拨通了父亲的老战友王所长的电话:“王叔叔,我们成功了,第一代原型机完成了!我父亲要是在天有灵,一定会为我们骄傲的。”电话那头传来王所长哽咽的声音:“好!好!我明天就去研发中心,亲眼看看我们龙国人自己的先进芯片!”

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